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氣相 第3頁
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哪些氣體碳?xì)淇梢酝ㄟ^CVI來制備氣相沉積碳？
??CVD(ChemicalVaporDeposition,化學(xué)氣相沉積)，指把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入反應(yīng)室，在襯底表面發(fā)生化學(xué)...
發(fā)布時(shí)間：2021-10-19分類：催化劑及助劑瀏覽：173評論：0
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